中国DUV关键技术获重大突破

据闪德资讯获悉，国际光电工程学会（SPIE）报道，中国科学院（CAS）研究人员成功研发突破性的固态深紫外（DUV）激光器，能发射193纳米的相干光（Coherent Light），该波长目前被用于半导体曝